专利
单片硅基光电集成芯片的制备方法
发布时间：2022-09-14 点击次数：
专利类型：发明
专利状态：授权专利
申请号：CN201811453417.8
授权号：CN109459817B
发明人数：8
是否职务专利：否
申请日期：2018-11-30
公开日期：2019-03-12
授权日期：2020-01-07
专利类型：发明
专利状态：授权专利
申请号：CN201811453417.8
授权号：CN109459817B
发明人数：8
是否职务专利：否
申请日期：2018-11-30
公开日期：2019-03-12
授权日期：2020-01-07